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KYJH-1000型静电键合机

主要用于某些同质或者异质的材料晶片之间的静电（阳极）键合。可适用于硅、半导体材料、化合物半导体材料、硅化物材料、玻璃等能够实现键合加工的“光电子”器件及“MEMS”等工艺领域。

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HVJH-2000型静电键合机

用于某些同质或者异质的材料晶片之间的静电键合。可适用于硅、半导体材料、化合物半导体材料、硅化物材料、玻璃等能够实现键合加工的“光电子”及“MEMS”等工艺领域。

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HPTJH—1000型热键合设备

用于某些同质或者异质的材料晶片之间的热键合、直接键合。可适用于硅、半导体材料、化合物半导体材料、硅化物材料、玻璃等能够实现键合加工的“光电子”及“MEMS”等工艺领域。

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